电容式压力传感器

电容式压力传感器概念
电容式压力传感器（capacitive type pressure transducer）：是一种利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。

工作原理
容式压力传感器一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感受压力而变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化，通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器，可分为单电容式压力传感器和差动电容式压力传感器。

类型区分

1单电容式压力传感器

它由圆形薄膜与固定电极构成。薄膜在压力的作用下变形，从而改变电容器的容量，其灵敏度大致与薄膜的面积和压力成正比而与薄膜的张力和薄膜到固定电极的距离成反比。另一种型式的固定电极取凹形球面状，膜片为周边固定的张紧平面，膜片可用塑料镀金属层的方法制成。这种型式适于测量低压，并有较高过载能力。还可以采用带活塞动极膜片制成测量高压的单电容式压力传感器。这种型式可减小膜片的直接受压面积，以便采用较薄的膜片提高灵敏度。它还与各种补偿和保护部以及放大电路整体封装在一起，以便提高抗干扰能力。这种传感器适于测量动态高压和对飞行器进行遥测。单电容式压力传感器还有传声器式（即话筒式）和听诊器式等型式。

2差动电容式压力传感器

它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器。在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小，测量结果由差动式电路输出。它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。过载时膜片受到凹面的保护而不致破裂。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好，但加工较困难（特别是难以保证对称性），而且不能实现对被测气体或液体的隔离，因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中。差动电容式传感器的优势在于灵敏度高、非线性误差小，同时还能减小静电引力给测量带来的影响。


电容式传感器的优缺点
优点：
①功率小、阻抗高；
②静电引力小、动态特性良好；
③和电阻式传感器相比，电容式传感器本身发热影响小；
④可进行非接触测量；
⑤结构简单，适应性强，可以在温度变化比较大或具有各种辐射的恶劣环境中工作。
     
缺点：
①输出具有非线性；
②寄生电容的影响往往降低传感器的灵敏度。
电容式传感器的应用十分广泛，小编这里将其基本知识总结了一下，给大家做个参考！