什么是射频电源

射频电源定义

射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。

射频Radio Frequency ，简称RF。射频就是射频电流，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。


图一：射频电源

射频电源的作用

射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。

射频电源可以用于加热，一般用射频电源进行感应加热需要以下装置：射频电源、匹配器、感应线圈和加热容器；射频电源根据需要的频率和功率而定，感应线圈一般由镀银铜管制成，绕在加热容器外，匹配器将射频电源的50欧输出阻抗和感应线圈的阻抗向匹配。


图二：射频电源的应用

射频电源无功率输出

一般情况有以下几种原因导致射频电源没有功率输出：
1、射频电源带有Interlock自锁功能，用于保护人员和设备的安全，使用前需确认Interlock已经解锁。
2、射频电源内部AC/DC 电源过载保护，需要重启内部AC/DC电源，具体方法为断开射频电源的AC 输入电缆 1-2分钟，然后重启电源。
3、射频电源故障。

全固态射频电源原理

全固态射频电源的功放采用RF MOSFET为元器件，主要由功放模块，功率检测模块，控制模块和AC/DC电源模块；功放模块的功能是通过多级射频功率放大将晶振产生的特定频率的小信号放大到所需要的射频功率。功率检测模块的功能是检测出功放的输出功率，性能的好坏直接影响到输出功率的精确度和稳定度。控制模块的主要功能是控制射频电源的输出功率为设定值，处理工作中的异常比如VSWR保护，过温保护等等。AC/DC模块将输入的220V交流电转换成功放，控制模块功率检测模块所需的直流电压。


图三：全固态射频电源