电压检测故障法与晶圆工艺

电压检查法是检查集成电路最为有效和常用的检查手段，电压检查法是并联测量，无须变动电路。一般电压检查法主要是测量集成电路中关键测试点的直流电压，必要时也可以测量交流电压等。在检查时，应重点检查电路中的关键测试点电压，这些关键测试点主要是集成电路的电源脚、信号输入脚和信号输出脚，以及一些重要的控制脚上的直流电压。

在没有所要检查的集成电路各引脚标准工作电压数据时，要利用各引脚外围电路的特征来判别引脚电压的明显异常现象。实在无法确定时，可找另一台相同型号的电器设备，通过实测相同部位的集成电路各引脚直流电压来进行比较、分析，这一检查方法的结果是十分准确的。集成电路引脚电压发生异常时，对电容只要怀疑它是否击穿、漏电，对电感线圈只要怀疑它是否开路，对电阻器只要怀疑它是否开路和短路。

当集成电路中有多个引脚电压同时发生改变时，往往是一个故障原因引起的，因为集成电路内电路各级间采用直接耦合方式，各级电路之间直流电压会相互影响。如若集成电路与其他电路的连接引脚是采用阻容耦合时，那么各引脚电压偏差的故障是由于集成电路本身造成的。如若输入端或输出端采用直接耦合（无隔直电容），那么也有可能是前级或后级电路故障造成集成电路的多个引脚直流电压发生偏差。

集成电路电源引脚直流工作电压不正常（通常是直流工作电压低于正常值），若其他各引脚电压也不正常，应重点检查电源引脚的外电路。在排除外电路出现故障的可能后，说明集成电路有问题，当电源引脚上直流工作电压低时，很可能是集成电路电源引脚内电路存在短路故障。一些专用集成电路，有些引脚的直流工作电压与电源引脚上的工作电压之间有固定的比例关系，这对无集成电路各引脚标准电压的情况下检查故障是很有用的。例如，OTL功率放大器集成电路的信号输出引脚直流电压等于电源引脚上直流电压的一半；OCL功率放大器集成电路的信号输出引脚直流电压等于0V；BTL功率放大器集成电路的两根信号输出引脚直流电压相等，等于电源引脚上直流电压的一半。在各种集成电路中，电源引脚上的直流电压是最高的。整机直流工作电压在空载时比工作时要高，高出愈多说明电源的内阻愈大。所以，在测量直流电压时要在机器进入工作状态下进行。

晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，也叫单晶硅。晶圆生产包括晶棒制造和晶片制造两面大步骤，它又可细分为以下几道主要工序（其中晶棒制造只包括下面的第一道工序，其余的全部属晶片制造，所以有时又统称它们为晶柱切片后处理工序）： 多晶硅——单晶硅——晶棒成长——晶棒裁切与检测——外径研磨——切片——圆边——表层研磨——蚀刻——去疵——抛光—（外延——蚀刻——去疵）—清洗——检验——包装。