1.0999亿元成交！上海微电子光刻机中标政府大单，国产芯装备再升级

导读：近日，中国政府采购网发布的一则中标公告引发业界高度关注：上海微电子装备（集团）股份有限公司（以下简称“上海微电子”）成功中标编号为zycgr22011903的采购项目，提供一台步进扫描式光刻机，成交金额高达1.0999亿元。这一里程碑事件不仅标志着国产光刻设备在高端市场取得实质性进展，也彰显了我国在半导体核心装备领域的自主可控能力正稳步提升。

资料显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司成立于2002年，总部位于上海张江高科技园区，是中国电子信息产业集团（CEC）旗下专注于集成电路制造装备研发与生产的国家级高新技术企业。作为国内最早布局光刻机研发的企业之一，上海微电子长期承担国家重大科技专项任务，致力于打破国外在高端半导体设备领域的技术垄断。

公司以“打造中国芯，装备中国梦”为使命，聚焦光刻、封装、检测等关键环节，构建了覆盖前道与后道工艺的完整产品体系。其中，光刻机作为芯片制造中最核心、技术门槛最高的设备之一，一直是上海微电子重点攻关方向。

本次中标的设备为步进扫描式光刻机（Step-and-Scan Lithography System），是当前主流的先进光刻技术平台之一。相较于早期的接触式或接近式光刻机，步进扫描式光刻机通过精密的光学系统与运动控制，在保证高分辨率的同时实现大面积晶圆的高效曝光，广泛应用于逻辑芯片、存储器等高端集成电路制造流程。

虽然目前国际领先厂商已进入EUV（极紫外）光刻时代，但DUV（深紫外）波段的步进扫描光刻机仍是全球90%以上成熟制程芯片生产的核心设备。上海微电子此次交付的设备虽未公开具体技术节点，但其成功中标政府主导的重大采购项目，表明其产品已在稳定性、精度和量产适配性等方面达到可商用水平。

上海微电子在内部也组建了跨领域联合团队，光学、机械、软件工程师们齐心协力，全年进行了上千次的模拟测试，不断优化曝光系统，力求对标国际先进水平。

2023年，昆山同兴达接收了上海微电子交付的封测光刻机，并举行了隆重的搬入仪式。这台设备专用于芯片封装环节，但其技术具备向先进制程扩展的潜力。设备在安装时，使用了专用的恒温防震厂房，以避免任何细微的震动影响精度。更值得一提的是，这台设备大量使用了国产零件，光源、镜头、控制系统等核心部件均实现了国产覆盖，虽然它并非前端的28纳米制程光刻机，但无疑为未来更高端设备的研发和升级打下了坚实的基础。

正如中科院院士所言：“光刻机之战，本质是工业体系的系统对抗。”在这场马拉松中，中国正以“板凳要坐十年冷”的定力，向着芯片制造的“皇冠明珠”稳步迈进。