造价4亿美元!ASML新一代EUV光刻机即将量产!

发布时间:2026-02-27 阅读量:33 来源: 发布人: bebop

我爱方案网2月27日消息,据路透社报道,ASML下一代芯片制造机已准备就绪,制造商可以开始将其投入大规模生产,这对芯片行业来说是一大步。


这家荷兰公司生产全球唯一商用极紫外光刻(EUV)设备,该设备是芯片制造商的关键部件。ASML 的数据显示,这款新设备将帮助台湾积体电路制造公司(TSMC)和英特尔等芯片制造商生产出功能更强大、效率更高的芯片,因为它可以省去芯片制造过程中几个成本高昂且复杂的步骤。


报道称,ASML计划于周四在圣何塞举行的技术会议上发布这些数据,这代表着一个重要的里程碑。


ASML 花费数年时间开发出这些昂贵的下一代工具,因为芯片制造商一直在努力确定何时开始将其用于大规模生产才具有经济意义。


但鉴于当前一代 EUV 工具在制造复杂 AI 芯片方面已接近技术极限,下一代机器(称为高数值孔径 EUV 工具)对于 AI 行业至关重要,可以改进OpenAI的 ChatGPT 等聊天机器人,并帮助芯片制造商按时交付其 AI 芯片路线图,以满足不断增长的需求。新工具造价约为 4 亿美元,是原 EUV 机器造价的两倍。


ASML的数据显示,高数值孔径极紫外光刻机(High-NA EUV)的停机时间目前非常有限,已生产了50万片餐盘大小的硅晶圆,并且能够绘制出构成芯片电路的足够精确的图案。综合这三项数据,表明这些设备已准备好投入制造商使用。


ASML首席技术官马可·皮特斯表示,公司目前的正常运行时间约为 80%,并计划在年底前达到 90%。他指出,ASML 计划发布的成像数据足以说服客户用单步高数值孔径 (High-NA) 加工来替代老一代设备的多步加工。这些设备已加工了 50 万片晶圆,使公司能够解决许多技术难题。


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