国产化再进阶!开悦半导体inline涂胶显影机顺利出机

发布时间:2026-08-14 阅读量:91 来源: 开悦半导体 发布人: bebop

近日,合肥开悦半导体自研存储制程适配型inline联机涂胶显影机正式出机给存储芯片制造客户。该设备历经18个月研发、迭代与可靠性出厂验证,顺利通过出厂检测。设备可适配3D NAND、DRAM、HBM等主流存储产线,有望为国内光刻领域新增国产化替代方案。 

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当前高端存储制程涂胶显影机多依赖海外供给,国产装备正加速国产替代。针对存储芯片多层堆叠、特殊胶层工艺难点,开悦半导体定向攻关完成整机设备研发,实现核心工艺单元、电控架构及整机软件自主可控,并同步推进核心零部件国产化替代进程。


该设备可搭配i-line、DUV曝光设备联机作业,适配逻辑、存储、光电集成等多领域工艺场景,配套自研软件支持生产全流程可追溯,有望针对性改善制程中的多项工艺难点。企业依托自有生产基地与海内外服务体系,可向客户提供全周期技术配套服务。


本次设备顺利出机,进一步扩充国产存储光刻装备研发品类,助力完善本土成电路产业配套布局。后续,开悦半导体将稳步推进客户端工艺验证与批量交付筹备工作,持续深耕高端涂胶显影设备研发与制造,不断提升国产化配套能力,助力国内半导体产业供应链高质量、稳健发展。


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