VLSI:2010年全球半导体设备厂商排行榜

美国范林半导体(Lam Research：刻蚀设备厂商)则位居第四，排在第五位的是掩模板、量测设备及电子束直写设备厂商KLA-Tencor，随后的排名依次为DNS（硅片清洁设备，RTP快速退火设备厂商）, Novellus（CVD/PVD淀积设备厂商）, Varian（离子注入设备厂商）, 尼康以及日立高技术公司（蚀刻设备，测量设备厂商）。

据统计，ASML与范林半导体两家公司的设备销售额2010年提升了进200%，Varian Semiconductor公司的设备销售额则提升了187%，排位上升到了第8位。

总体上看，位居前十位的半导体制造设备厂商的销售额增长了140%，比2008/2009的低潮期好转不少。VLSI Research市调公司的总裁Risto Puhakka表示：“芯片制造用设备厂商销售额和盈利额的增长率在2010年达到了创记录的水平。这一年这些设备厂商的良好业绩显示全球半导体产业已经从经济危机中全面恢复，比2010年初人们所预计的情况还要好。”