Edwards推出环保型低功耗的干式真空泵

作为双方长期关系的一部分，Edwards和联电新加坡分公司合作申请这项基金。新加坡国家环境局（NEA）批准了能效技术基金项目（GREET）下的这项基金。该基金使Edwards iXL120成为第一款由于其环保特性而获得认可的干式真空泵。

iXL120取代了老一代的Edwards泵，并将因为降低能耗和维护要求而减少运行成本。遴选过程包括对来自各供应商的泵进行竞争性评估。

 “作为一名负责的企业公民，联电持续更新设施以实现更环保、更可持续的制造工艺，”联电新加坡Fab 12i制造厂的制造运营总监Johnson Liu说，“预计更换为Edwards iXL120不仅将使Fab 12i制造厂的生产更环保，还将帮助我们降低运营成本。”

小型低能耗iXL120干式真空泵是用于加载互锁和清洁工艺应用中的最小、最轻的泵之一。泵在绿色模式下功耗减少达95%，有助于降低拥有成本和环境影响。泵抽气速率高，具有同类中最快的抽真空速度，其低能耗、小尺寸和最低维护要求有助减少总体拥有成本。