突破!一半导体公司成功开发下一代小芯片技术

发布时间:2023-08-3 阅读量:915 来源: 我爱方案网 作者: bebop

8月3日消息,据THE ELEC报道,电子和电信研究所 (ETRI) 已成功开发出下一代小芯片技术。最大的特点是工艺数量相比现有chiplet工艺减少到1/3。ETRI 正准备通过与海外半导体公司合作将下一代小芯片技术商业化。 

ETRI低碳集成技术创意实验室负责人崔光成 (Choi Gwang-seong) 在 ELEC 于 2019 年 12 月在首尔驿三浦项大厦举办的“半导体混合接合会议”上发表了主题为“Tiling Bonding 技术作为 Chiplet 集成技术”的演讲。 

Choi 表示:“(TSV 和混合键合)之间存在鲜为人知的差距。10-40μm 区域对我们来说可能是一个机会。” 他补充道,“由于使用硅中介层等并不能带来生产力,因此应该采用倒装芯片接合。” 

ETRI 开发了“平铺工艺”,这是一种下一代小芯片技术,旨在瞄准这一领域。在拼贴工艺中,将非导电薄膜 (NCF) 应用于半导体晶圆基板,并将芯片堆叠在晶圆上,就像将拼贴与晶圆上制造的小芯片连接起来一样。然后,对表面进行激光照射,进行粘合和后固化过程。ETRI解释说,应用瓷砖技术时,可以减少后处理所需的清洗、干燥、涂层和固化等工序。

Choi总监表示:“(目前,对于芯片堆叠),如果存在不良裸片(缺陷产品)问题,我们会采用晶圆上芯片(CoW),如果没有不良裸片问题,我们使用晶圆对晶圆(WoW)。”存在一个野场问题,并且(如果应用平铺工艺)这两个问题都可以解决,”他介绍道。  

CoW 的缺点是需要大量时间来大规模生产半导体,因为单个芯片堆叠在晶圆上。WoW 是一种将晶圆堆叠在晶圆上的形式。可以生产的半导体类型有限,良率管理也很困难。在平铺工艺的情况下,与现有工艺相比,可以显着缩短工艺时间,因为它是一种设置一定规则并堆叠芯片的方法。此外,与WoW方法相比,可以提高成本和产量。

最后,崔主任表示,“(可以应用瓷砖工艺的)市场现在正在开放”,“我们正在寻找合作伙伴一起商业化”。目前,据了解,ETRI正在与海外主要半导体公司I就平铺工艺进行合作。


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