光刻机巨头ASML被吊销发货许可证,部分中国企业被影响!

发布时间:2024-01-2 阅读量:2264 来源: 发布人: bebop

1月2日消息,光刻机巨头ASML官网发布公告称,荷兰政府最近吊销了该公司2023年发货TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻机的部分许可证,这会对其少数中国客户产生影响。


也就是说,ASML的部分对中国客户的出口许可证在2023年12月31日到期之前,就已经被荷兰政府吊销了。


据彭博社的报道,知情人士称,在相关许可证到期之前几周,荷兰政府就应美国政府的要求,吊销了部分高端DUV光刻机的对华出口许可证。


ASML在声明中称,目前出口许可证的撤销或美国最新的出口管制限制不会对其 2023 年的财务前景产生重大影响。“在最近与美国政府的讨论中,ASML获得了美国出口管制法规的范围和影响的进一步明确。美国最新出口规则(2023 年 10 月 17 日发布)对有限数量的先进生产设施的某些中关键的浸没式DUV光刻系统施加了限制。”


ASML强调,“我们完全致力于遵守所有适用的法律和法规,包括我们经营所在国家的出口管制立法。”


DUV光刻机被用于生产28nm及更成熟制程的芯片,理论上最高能制备7nm,主要供应商有荷兰ASML、日本尼康、日本佳能等。


2023年3月,荷兰政府宣布对半导体技术出口实施新的限制,要求ASML需要申请出口许可证才能装运DUV光刻机。从ASML的解读来看,该新规主要涉及能生产先进制程芯片的高端DUV光刻机型号的采购,暂不影响2000i之前的型号。该禁令于9月1日起执行。


当时这一禁令并未对ASML产生太大影响。该公司此前已经申请了出口许可证,这一许可证允许其在2023年内向外出售NXT:2000i以及更先进的NXT:2050i、NXT:2100i等DUV光刻机。


不过,如今这一许可证被吊销,ASML的TWINSCAN NXT:2050i和NXT:2100i光刻机出货受到影响,这意味着ASML在数周之前就已经无法继续向中国客户交付此前尚未完成交付的相关高端DUV光刻机订单。


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