国产化里程碑：我国成功自主研制首台国产串列型高能氢离子注入机！

离子注入机与光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备，共同构成了半导体制造过程中的“四大核心装备”，是芯片量产工艺中不可或缺的关键设备。

本次高能氢离子注入机的成功研制，是核技术与半导体产业深度融合的标志性成果，将显著增强我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，并为推动能源转型、助力“双碳”目标及加快形成新质生产力提供重要的技术支撑。

过去，我国高能氢离子注入机完全依赖进口，因其研发难度大、技术壁垒高，长期成为制约我国相关产业升级的瓶颈。中国原子能科学研究院依托在核物理加速器领域数十年的技术积淀，以串列加速器技术为核心，成功攻克了一系列技术难题，实现了从底层原理到整机集成的完全正向设计，彻底打破了国外在该领域长期的技术封锁与市场垄断。

结语

高能氢离子注入机的成功研制不仅是一个技术节点的突破，更是我国加快形成“新质生产力”、推动科技自立自强的重要体现，同时也预示着我国半导体装备产业正从“跟跑”向“并跑”乃至部分领域“领跑”转变。