X-FAB推出革命性SPAD隔离技术,180nm工艺像素密度提升30%

发布时间:2025-06-23 阅读量:1093 来源: 我爱方案网 作者:

【导读】全球领先模拟混合信号晶圆代工厂X-FAB于2025年6月宣布,在其成熟的180纳米XH018半导体工艺平台中集成新型25V隔离模块ISOMOS1。该技术突破显著提升了单光子雪崩二极管(SPAD)阵列的集成密度,为激光雷达、3D成像及生物医学设备等应用提供更高性能解决方案。


ISOMOS1模块实现芯片面积缩减25%


相较于前代ISOMOS2隔离方案,新型ISOMOS1模块通过优化晶体管隔离结构布局,在不增加掩模层的前提下将像素密度提升30%。实测数据表明:在典型4×3阵列(10×10μm²光学单元)中,芯片总面积减少约25%,填充因子同步提升30%,有效解决高分辨率SPAD阵列的空间效率瓶颈。


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多场景应用拓展深度感知能力


该技术强化了SPAD在直接飞行时间测距(dToF)系统的优势,适用于:


1. 智能终端:智能手机、AR/VR设备的空间建模

2. 工业自动化:协作机器人防撞系统、精密测距

3. 前沿科技:自动驾驶激光雷达、量子通信光探测

4. 生命科学:微型化生物传感器件开发


近红外优化方案提升光子探测效率


X-FAB同步升级了近红外优化型SPAD器件,在10-20μm有效面积范围内实现更高光子探测概率(PDP)。结合ISOMOS1的低噪声特性,可在微弱光信号场景(如深层组织成像)中保持高速响应能力。


技术生态协同加速产业化落地


全新工艺设计套件(PDK)已开放下载,支持客户快速开发下一代SPAD阵列。X-FAB将于2025年6月24日亮相美国Sensors Converge展会(展位#847),现场演示集成该技术的3D传感模组。据光电子技术营销经理Heming Wei透露:"此次工艺升级使180nm平台可承载更复杂的光电系统,为紧凑型高性能传感器创造新可能。"


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