上海微电子中标近1.1亿采购步进扫描式光刻机!

发布时间:2025-12-26 阅读量:1152 来源: 发布人: suii

据中国政府采购网公示,上海微电子装备(集团)股份有限公司中标“zycgr22011903”采购项目,将提供一台步进扫描式光刻机,成交金额为10999.985万元。


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公开资料显示,上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务,是我国极少数具有光刻机整机集成研发能力的厂商,公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。


步进扫描光刻机(Scanner)是现代投影式光刻的主流形态,通过狭缝动态扫描与步进拼接实现大面积高分辨率图形转移。其核心是在曝光视场内以高速同步扫描完成一次成像,再移动到下一视场重复过程,从而在大曝光视场与高分辨率之间取得平衡。典型参数包括:单次扫描狭缝约26 mm × 8 mm,最大曝光视场可达26 mm × 33 mm;掩模与晶圆反向同步扫描,掩模扫描速度可至约2400 mm/s,对应晶圆速度约600 mm/s,以提升产能。该方式已成为DUV与EUV前道制造的主力设备形态。


结语

 此次中标标志着我国在高端光刻装备领域取得重要进展。随着DUV与EUV光刻技术的不断演进,国产光刻机在分辨率、产能和稳定性方面的持续提升,将加速我国在先进制程领域的追赶步伐。

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