7.0级地震影响台湾半导体晶圆厂恢复,石英炉管破损成关键制约

发布时间:2025-12-29 阅读量:856 来源: 发布人: suii

根据中国台湾地区气象部门报告,当地时间12月27日晚间11时05分,台湾宜兰县政府东偏南方32.3公里的东部海域发生芮氏规模7.0地震,震源深度72.8公里,台湾多地观测到最大震度4级。


业内分析认为,此次地震对当地半导体产业的影响程度,仅次于1999年“921”大地震和2024年“0403”地震,位列第三。台积电进一步指出,规模相对较小的地震通常可在震后2至3天内恢复生产,但此次情况较为特殊,产线全面恢复将取决于石英炉管的实际破损状况与备料匹配程度。尽管多数机台设备可快速复归运转,但石英炉管等关键耗材的损坏情况及其与现有备料的匹配度,将成为制约生产线完全恢复正常的关键因素。


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石英炉管是半导体制造过程中,位于扩散制程机台核心的圆柱形容器,能提供相对纯净的空间,确保硅晶圆在加工过程中不被金属离子污染。由于石英“硬而脆”的特性,地震时的剧烈晃动容易导致炉管与机台框架发生碰撞而破碎。


台积电表示,12月27日23时许中国台湾地区发生地震后,其位于竹科的少数厂区达到疏散标准,公司依据应急预案以人员安全为首要考虑,完成了人员疏散。目前各厂区安全系统运作正常,所有人员已返回岗位。此次地震对竹科与竹南的8英寸及12英寸厂产线造成影响,主要涉及石英相关设备与材料,具体损害情况仍在评估中。目前可确认影响范围包括产线设备与关键材料,待完成详细盘点后,方能进一步量化对财务与产能的冲击。


石英炉管属关键流程环节,修复与更换所需时间较长,其他机台将尽快复归,但整体复原时程取决于石英炉管材料供应与安装恢复。虽然2024年“0403”地震后已增加石英材料库存,仍需评估可用性与匹配度,若有破碎需更换,将延长装机与校准的时间,进而影响后续晶圆交期。


存储厂南亚科表示,内部仍在针对地震灾损进行完整详细的确认,还需要多一些时间,预计12月29日上班会统一说明。


此外,联电指出,联电新竹厂测得震度为4级,联电所有员工安全,无人受伤。联电将根据最新情况及时发布更新资讯;群创也在第一时间启动厂区内安全机制,机台虽因安全机制而停摆,但公司随即展开标准应变程序。群创指出,事发当下以确认厂区人员安全为最高优先原则,历经初步清点与回报后,目前所有员工皆平安。

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