碳化硅衬底制备涉及原料合成、晶体生长、晶锭加工、切割、研磨抛光及清洗检测等数十道精密工序。随着下游对降本增效的迫切需求，衬底尺寸正加速从6英寸向8英寸乃至12英寸跨越。近期，国内领军企业晶盛机电宣布其首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线，实现了从晶体生长、切割、减薄、抛光到检测全流程设备的100%国产化与自主研发。这一突破不仅标志着国产SiC衬底技术从“并跑”向“领跑”迈进，更为解决大尺寸衬底加工中的翘曲度（WARP）、总厚度偏差（TTV）等核心参数控制难题提供了国产解决方案。与此同时，天岳先进等企业也已具备8英寸导电型衬底的量产能力，并成功打入国际知名车企供应链，展现出国产材料在全球市场的强劲竞争力。
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发布时间 : 2026-07-20
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